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江陰某半導體企業應用超純水設備項目

2023-01-13

  在集成電路、分立器件和其他半導體產品中,半導體材料是半導體產業鏈上游環節的重要組成部分,起著關鍵作用。目前全球的半導體產業鏈正向中國大陸轉移,中國晶圓廠擴產的步伐已逐漸加快。隨著國內晶圓廠的投產,對半導體材料的需求也將增加,市場的需求空間已被打開,因半導體元件集成度高,生產線狹窄,對水質的要求特別高,超純水成為電子工業用水的“標配”。

超純水設備

  江陰某半導體企業應用超純水設備項目

  項目工藝

  自來水進入原水箱,經過原水泵增壓,經過砂濾器、炭濾器、阻垢劑加藥、保安過濾器,到達反滲透單元,經兩級反滲透過濾,進入EDI單元,達到電阻率15MΩ·cm(25℃)進入純水水箱。純水供水設計為循環方式,經純水供水泵增壓,通過紫外線消毒器、拋光混床接入純水供水管,到達使用點。

  萊特萊德超純水設備設計原則

  1、根據進、出水要求,選擇成熟可靠、高效節能、占地少、經濟實用的處理工藝,保證處理效果,減少工程投資和日常費用。

  2、工藝流程簡潔通暢,整體布置簡潔、合理、美觀符合廠區的統一規劃,要求水處理設施布局與周圍環境協調,不對周圍環境造成二次污染。

  3、管道布局合理,充分利用現有設置和現有地形條件。整體施工期短、安裝方便、便于管理。安全措施得當,避免隱患。

  4、通過對各功能模塊進行優化組合,以確保整個系統的高性能和高品質,使產品水完全達到或優于用水水質標準。

  萊特萊德超純水設備中水箱均設有液位控制系統、水泵配有壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電器采用PLC可編程序控制器,實際實現了無人操作,同時在工藝選材方面采用推薦和客戶要求相統一的方法,使設備同其他同類產品相比,有較高的性價比。

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