單晶硅是指硅的單晶體,具有基本完整的點陣結(jié)構(gòu)。不同的方向具有不同的性質(zhì),是一種良好的半導(dǎo)材料。用于制造半導(dǎo)體器件、太陽能電池等。
太陽能電池行業(yè)要應(yīng)用單晶硅,首先就要對其加工清洗,而超純水設(shè)備就是一種出水電阻率非常高,不含任何雜質(zhì),不導(dǎo)電的設(shè)備,符合單晶硅的清洗需求。
萊特萊德單晶硅清洗用超純水設(shè)備在設(shè)計上采用雙級反滲透與EDI及拋光混床相結(jié)合的制水工藝,具有水利用率高,運行可靠,經(jīng)濟合理等特點。但是單晶硅清洗用超純水設(shè)備在長時間工作后,如果不定期進行維護,就很容易被污染,因此單晶硅清洗用超純水設(shè)備要這樣“呵護”,才能保證設(shè)備出水水質(zhì)符合要求。
1、將清洗液進行混合。
2、用清洗泵低流量將清洗液以低流速、低壓力打至反滲透系統(tǒng),并排走原水,防止清洗液稀釋。
3、保持設(shè)備溫度穩(wěn)定,用清洗泵將清洗液在系統(tǒng)中循環(huán)。
4、清洗泵進行浸泡一小時即可,污染較嚴重的反滲透膜可進行更長時間的浸泡清洗。
5、用清洗泵大流量打入清洗液30—60分鐘,使反滲透膜上被洗掉的污染物隨高流速水沖走。
6、用清水將清洗液沖去。此外,用酸清洗時應(yīng)測pH值,當pH值上升0.5以上時應(yīng)增加酸量。
萊特萊德超純水設(shè)備可以連續(xù)穩(wěn)定的制備品質(zhì)優(yōu)良的超純水,水質(zhì)穩(wěn)定在ppt級別,尤其是硼離子可以≤5ppt,能夠更好助力集成電路企業(yè)的發(fā)展,形成更強大的企業(yè)競爭力。
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